pfc制冷剂:r14、r116、r218 -欧洲杯买球平台官网
型号:pfc制冷剂
r-14(cf4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、freon 14、pfc-14、fc-14、r14)
冷媒名称
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r-14
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冷媒名称
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r-14
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沸点(1atm),℃
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-128.1
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破坏臭氧潜能值(odp)
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0
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饱和蒸气压(-150.7℃),kpa
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13.33
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全球变暖潜能值(gwp,100 yr)
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5700
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临界温度,℃
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-45.6
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燃烧
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不可燃
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临界压力,mpa
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3.75
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ashrae安全级别
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a1(无毒不可燃)
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主要应用
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r14主要用于超低温(深冷)复叠式制冷设备中,r14也是低温配合冷媒的重要组分;四氟化碳(别名:四氟甲烷,全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、cf4、pfc-14)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
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包装规格
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钢瓶包装,6.5kg/瓶,27kg/瓶。
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r-116(c2f6、六氟乙烷、全氟乙烷、氟利昂-116、freon 116、pfc-116、fc-116、r116)
冷媒名称
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r-116
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冷媒名称
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r-116
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沸点(1atm),℃
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-78.2
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破坏臭氧潜能值(odp)
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0
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饱和蒸气压(20℃),kpa
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2884
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全球变暖潜能值(gwp,100 yr)
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11900
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临界温度,℃
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19.9
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燃烧
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不可燃
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临界压力,mpa
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3.04
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ashrae安全级别
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a1(无毒不可燃)
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主要应用
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r116是一种特种低温制冷剂,通常作为一种组分用于混配低温混合冷媒;六氟乙烷(别名:全氟乙烷、氟碳116、perfluoroethane、hexafluoroethane、halocarbon 116、c2f6、fc-116)主要用作气体电介质和制造集成电路的干腐蚀剂。
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包装规格
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钢瓶包装,5kg/瓶,30kg/瓶。
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r-218(c3f8、八氟丙烷,全氟丙烷、氟利昂-218、freon 218、pfc-218、fc-218、r218)
冷媒名称
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r-218
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冷媒名称
|
r-218
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沸点(1atm),℃
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-36.6
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破坏臭氧潜能值(odp)
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0
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饱和蒸气压(20℃),kpa
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全球变暖潜能值(gwp,100 yr)
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8600
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临界温度,℃
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71.9
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燃烧
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不可燃
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临界压力,mpa
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2.68
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ashrae安全级别
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a1(无毒不可燃)
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主要应用
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r218是一种特种低温制冷剂,通常作为一种组分用于混配低温混合冷媒;八氟丙烷(别名:全氟丙烷, 化学式c3f8,英文名octafluoropropane、perfluoropropane、 halocarbon 218、fc-218)主要应用于微电子工业中等离子蚀刻,以及器件表面清洗、碳同位素分离工质、医疗用气、气体绝缘等。
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包装规格
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钢瓶包装,5kg/瓶,35kg/瓶。
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制冷剂压焓图
制冷剂温度压力对照表
物质安全技术说明书(msds)